判斷質量流量傳感器是否損壞，可以從以下幾個方面入手。

首先，觀察瞬時流量。如果瞬時流量為負，先檢查零點，關閉傳感器上下游閥門，使工藝流量為零，儀器顯示為零流量，則儀器可能正常。要檢查配置設置是否正確，流量方向有無顛倒，接線極性是否有問題。可通過測量驅動線圈電阻值判斷，左右檢測線圈電阻值應相同且差值不大于 10%，若異常應在傳感器接線盒處重復測量以排除電氣故障。所有線圈都對地開路，被測線電阻有短路或斷路，說明傳感器損壞。

其次，注意零漂情況。故障檢測時觀察傳感器振動狀態，可增加或加強支撐部件，設置小流量切割值和增大阻尼值。歸零失敗可能是儀器本身零漂，也可能是有緊急報警、開啟特殊功能、實際流量過大、閥門泄漏、介質含兩相流、測量管內壁黏附泥沙、傳感器本身故障等原因。很多零漂是工藝原因造成，可提高小流量切除值、打開段塞流功能等。

然后，查看有無流量顯示或輸出。無噪聲和振動時，檢查電源是否正常，包括電源是否接好、測量 Vin 對地電壓，檢查電源輸出板保險絲是否燒斷。還要檢查接線是否正確，新安裝儀器接線是重點，檢查傳感器與發射機間電纜連接，更換有短路和電路故障的電纜，檢查發送端屏蔽線單點接地絞接，以及接線盒是否進水潮濕。此外，檢查配置數據是否正確，重新設置配置參數。若被測介質含過多氣體，配合工藝人員解決。

最后，關注顯示和輸出值的波動。流量波動大時，檢查電源屏蔽電纜接地電阻是否小于 4 歐姆，電纜連接是否正常，驅動電壓波動和振動頻率是否穩定。懷疑驅動放大器不穩定可用相同類型替換確定故障，適當增加阻尼時間。若有強電磁場或射頻干擾，應采取屏蔽和接地措施。因工藝原因，管路振動應固定支承部位，流體有兩相流動時安裝閥門排出氣相組分，傳感器管路堵塞或污垢污染應檢查清洗。