要判斷真空泵是否出現故障，可以從以下幾個方面入手。

首先是真空度不高的情況。

可能是真空泵溫度太高，比如被抽氣體溫度高，要等氣體冷卻再進入；吸入硬物導致泵體磨損，需拆開清理或更換部件；冷卻水流不足，應加大流量；裝置不當使轉子軸心位移，要拆開重裝。

也可能是真空泵油的問題，比如油位低要加足，油被污染或商標不符要換新油，油路不通要檢查并保持暢通。

還可能是真空泵本身漏氣，像密封圈、氣鎮閥墊圈、排氣閥片等損壞或密封不好要更換，中隔板、端面油密封不良要修整或更換。

其次是真空泵運轉異常。

比如出現噪音、雜音、轉動困難或卡死現象，可能是溫度太高，參照前面溫度過高的處理方法；彈簧變形或斷裂要換彈簧；裝置不當要重新安裝；過濾網損壞要修復或更換并裝好；腔內污染嚴重要清洗并換油；油變質要換新油；配合過緊要重新安裝并調節油路；電機有故障要檢修或給軸承加黃油。

再者是真空泵漏油、噴油。

可能是密封圈損壞或安裝不正確，要檢查更換且均勻用力安裝；前后端面不平或端板未壓緊導致端面漏油，要修平并壓緊；進氣口壓強太高要設法減少進氣量；箱體有漏孔要檢查并堵死；油量過多要放出多余的油；擋油網裝反要重裝；突然暴露大氣要立即關閉低真空閥。

然后是真空泵溫度太高。

原因可能是泵環境溫度高、進氣溫度高、進氣冷卻裝置失效、泵長期連續運轉入口壓力高、水冷泵冷卻水量不足、循環水設計效果差、溫控水量調節閥失效等。

還有真空泵起動困難。

可能是已返油，用手扳動皮帶輪旋轉數周即可；長期不運轉或停機后未放入大氣使腔內充滿油，扳動皮帶輪可解決；油溫太低，給油加溫或讓室內升溫，也可用手扳動皮帶輪再通電；油變質要換新油；電源缺相要檢修電源。

此外，泵不轉的情況，如果能盤動但不轉，可能是聯軸器、皮帶、電機接線、電機、電源等問題；不能盤動或盤起來很重，可能是起動泵溫低、泵油粘度高、設計制造原因的停泵返油多、油位高、有異物、葉片變形卡住等。

最后，通過聲音也能判斷故障。

氣蝕發生時會有連續沖擊力，產生噪音和異常振動，要及時排出氣體；離心泵發出震顫聲音說明在抽空，要降低排氣口流速或停泵；泵發出低沉聲音可能是容量與實際流量不符，要增加進泵流量。