真空泵潤滑油的性能指標主要包括以下幾個方面。

首先是極低的蒸氣壓，這是最重要的性能，因為真空泵要求極高的真空度，所以需要蒸發性極低的油，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，擴散泵可用蒸氣壓很低的硅油或合成油，且飽和蒸氣壓要低于泵的極限壓強。

其次是合適的黏度和良好的黏溫特性，真空系統靠泵腔容積變化排氣，所以要求油有合適黏度和黏溫特性，即隨溫度變化黏度變動小。

再者是良好的熱氧化安定性，真空泵高速運轉使油溫升高，加劇油的熱和氧化，擴散泵常在高溫環境工作，所以要求油有良好的熱氧化安定性。

然后是良好的抗腐蝕性和抗乳化性，吸入腐蝕性氣體或水汽會導致腐蝕和乳化，所以油要具備這兩種性能，尤其在真空脫水工藝中抗乳化性更重要。

接著是較高的閃點，要保證真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。

最后是較低的極限壓力，這對于保證真空泵的性能至關重要。水分離性也要好，能迅速將油液中夾帶的水分分離，達到所需真空度。

總之，了解這些性能指標對于正確選擇和使用真空泵潤滑油非常重要。