要初步判斷真空泵故障，可以從以下方面著手。

首先是真空度不高，可能原因有真空泵溫度太高，比如被抽氣體溫度高，應冷卻后再進入；吸入硬物致泵體磨損，要清除硬物并修復或更換部件；冷卻水流不足，需加大流量；裝置不當使轉子軸心位移造成單面磨損，應拆開重裝；真空泵油有問題，如油位低、油被污染、油商標不符、油路不通、腔內沒保持恰當油量，要分別加足油量、換新油、換規定商標的油、檢查油路及油閥進油量；真空泵自身漏氣，像密封圈、氣鎮閥墊圈、排氣閥片損壞或密封不好，以及中隔板壓入時過盈量太大、端面油密封不良，要檢查并更換損壞部件，修整泵腔；轉子彈簧變形或折斷及旋片動作不靈，需整修或更換彈簧；進氣口的過濾網堵塞，應取下清洗再裝回；加工不良或磨損導致配合間隙過大，要檢查并按精度要求修復或更換。

其次是機電、真空泵運行異常，如電機超負荷運轉、有雜音噪聲、轉動困難或“卡死”，原因可能是真空泵溫太高、彈簧變形或斷裂、裝置不當、過濾網損壞、腔內污染嚴重、油變質、配合過緊、電機有故障，應參照相應情況處理。

再者是真空泵漏油、噴油，可能是轉軸、油窗等部位密封圈損壞或安裝不正確，前后端面不平或端板未壓緊，進氣口壓強太高，箱體有漏孔，油量過多，排氣蓋下面的擋油網裝反，突然暴露大氣，要檢查更換密封圈、將端面修平壓緊端板、設法減少進氣量、檢查堵死漏孔、放出多余的油、重裝擋油網、立即關閉低真空閥。

然后是真空泵起動困難，可能是已返油、長期不運轉或停機后未放入大氣使腔內充滿油、油溫太低、油已變質、電源缺相，可通過用手扳動皮帶輪旋轉數周、讓室內溫度保持在 15 度以上、更換新油、檢驗電源來解決。

還有泵不轉的情況，能盤動但不轉可能是聯軸器故障、打滑、電機接線有誤、電機損壞、電源沒電；不能盤動或盤起來很重可能是起動泵溫太低、泵油粘度太高、設計制造原因的停泵返油太多、有異物在泵內。

泵溫太高可能是泵或進氣溫度高、進氣冷卻裝置失效、長期連續運轉入口壓力太高、水冷泵冷卻水量不足、循環水設計效果不佳、溫控水量調節閥失效等。

漏油可能發生在軸封等多處，由密封件老化等引起。

漏水可能在水管接頭等多處，由水套鉆穿等導致。

大功率超標可能由長期連續作入口壓力太高等引起。

極限壓力不達標可能由外漏、內漏、油孔堵塞等引起。